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電子氣體是什么
半導體工業(yè)用的氣體統稱(chēng)電子氣體。在半導體的生產(chǎn)過(guò)程中，從芯片生長(cháng)到最后器件的封裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節都離不開(kāi)電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質(zhì)量有很大的影響。
電子氣體按其門(mén)類(lèi)可分為純氣，高純氣和半導體特殊氣體三大類(lèi)。半導體特殊氣體按純度等級和使用場(chǎng)合，又可分為電子級，LSI（大規模集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級。
其中，高純氣體大多用于超大規模的集成電路及分離器件、光電子等高科技領(lǐng)域，包括氧氣、氮氣、氫氣、氦氣、氬氣等（純度通常都是大于99.999%）。特殊氣體則主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝。該類(lèi)電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。
半導體特殊氣體市場(chǎng)形勢
根據SEMI的數據，全球電子氣體市場(chǎng)規模2014年已達35億美元，其中特殊氣體約占65%。其中，又以美國空氣化工（30%）、美國普萊克斯（20%）、日本昭和電工（15%）、英國B(niǎo)OC（已被德國林德集團收購，10%）和法國液化空氣（5%）為首的五大氣體公司占有全球80%以上的特殊氣體市場(chǎng)份額。
而在半導體特殊氣體方面，我國還與國際廠(chǎng)商有著(zhù)較大的差距。國內半導體行業(yè)使用的高純電子特氣幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口。高純度的氣體在存儲運輸上存在著(zhù)一定的技術(shù)難度。據相關(guān)數據顯示，各個(gè)電子特殊氣體競爭者無(wú)論從成本、價(jià)格、交貨期上都相差不大，部分氣體公司的主要優(yōu)勢在危險品保稅倉庫等物流服務(wù)和壟斷性產(chǎn)品上。
加之，我國半導體特殊氣體所能供應的種類(lèi)不全，使得相關(guān)大廠(chǎng)出于成本的考慮，也會(huì )將目光投向國際廠(chǎng)商。另外，我國本土氣體公司多是由大化工行業(yè)或工業(yè)氣體轉型而來(lái)，其技術(shù)水平參差不齊，很難達到晶圓制造的要求，也成為了制約國內半導體特殊氣體發(fā)展的要素之一。
但是，由于近些年來(lái)，我國正在大力發(fā)展半導體行業(yè)，與半導體相關(guān)的產(chǎn)品在產(chǎn)值和規模上的潛力很大。這種市場(chǎng)機會(huì )，也為國內半導體特殊氣體的發(fā)展帶來(lái)了機會(huì )。
國內廠(chǎng)商能否產(chǎn)出這口“氣”
國家 “十二五”期間重點(diǎn)實(shí)施《極大規模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》項目即 02 專(zhuān)項 “高純電子氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目。根據 2013 年修訂后的《國家產(chǎn)業(yè)結 構調整指導目錄》（2011 年本），高純電子氣體及其下游產(chǎn)業(yè)均屬于國家鼓勵類(lèi)項目；《國家集 成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》、《電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金指南》《2014-2016 年新型顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新 發(fā)展行動(dòng)計劃》等提出了一系列電子化學(xué)材料下游產(chǎn)業(yè)鼓勵扶持政策。
經(jīng)過(guò)這幾年的發(fā)展，我國已經(jīng)有相關(guān)企業(yè)，在某些半導體特殊氣體上有所突破。
七一八所
七一八所是國家“02專(zhuān)項”氣體項目的牽頭單位，相繼研制出高純三氟化氮、六氟化鎢氣體和三氟甲磺酸系列產(chǎn)品，并實(shí)現規?；a(chǎn)，相關(guān)產(chǎn)品得到了中芯國際等半導體龍頭企業(yè)的測試認證。據悉，七一八研究所特種氣體材料已應用于國內90%以上的半導體廠(chǎng)，部分產(chǎn)品達到100%。在公司預計到2020年，高純三氟化氮氣體產(chǎn)能將達到12000噸/年、高純六氟化鎢氣體產(chǎn)能將擴大至200噸/年、其他特種氣體產(chǎn)能將達到3000噸/年。
華特氣體
華特氣體為國內首家打破高純六氟乙烷、高純三氟甲烷、高純八氟丙烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、Ar/F/Ne混合氣、Kr/Ne混合氣、Ar/Ne混合氣、Kr/F/Ne混合氣等產(chǎn)品進(jìn)口制約的氣體公司，并率先實(shí)現了近20個(gè)產(chǎn)品的進(jìn)口替代，是中國特種氣體國產(chǎn)化的先行者。目前，公司是我國唯一通過(guò)ASML公司認證的氣體公司，亦是全球僅有的上述4個(gè)產(chǎn)品全部通過(guò)其認證的四家氣體公司之一。
巨化股份
浙江巨化股份有限公司及巨化集團公司擁有多種高純電子氣體生產(chǎn)所需的原料資源，如 HCl、HF、SiF4、F2、Cl2、CO2、CH2F2、CHF3、C2HF5、C4F8 等，為高純電子氣體發(fā)展提供了原料保障。3月16日，浙江省產(chǎn)權交易中心公開(kāi)掛牌巨化股份旗下兩大子公司浙江博瑞電子科技有限公司100%股權和浙江凱圣氟化學(xué)有限公司100%股權，打包價(jià)格9.4億元。從巨化股份相關(guān)公告來(lái)看，本次交易兩大子公司平臺，無(wú)疑是為了其于2017年底合資設立的“中巨芯科技”鋪路。根據巨化股份此前公告披露，公司擬聯(lián)合國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金公司等多家基金，共同出資設立合資公司“中巨芯科技”。
博純材料
博純材料系中外合資企業(yè)，成立于2009年。博純材料致力于為國際尤其亞洲半導體、LED、LCD和PV等市場(chǎng)提供高純電子氣體及相關(guān)應用設備，主營(yíng)電子專(zhuān)業(yè)材料的研發(fā)與生產(chǎn)，相關(guān)產(chǎn)品皆擁有獨立知識產(chǎn)權，是一家具有全新體制、生機勃勃的高新氣體和化工材料公司。2018年，Entegris 與博純材料進(jìn)行了合作，在中國泉州開(kāi)設了新工廠(chǎng)。此次活動(dòng)標志著(zhù)為半導體制造工藝中使用的特殊氣體產(chǎn)品正式投入生產(chǎn)運營(yíng)。博純材料泉州工廠(chǎng)占地 55000 平方米，包括兩個(gè) 2.3 級危險品庫房以及 20 多個(gè)電子氣體包裝、純化和合成工藝中心。該工廠(chǎng)可在國內制造世界上最先進(jìn)的半導體離子注入材料。
半導體行業(yè)涉及到方方面面，但是任何一個(gè)小點(diǎn)都至關(guān)重要。如同，我們進(jìn)行呼吸一樣，看似是很普通的一件事，卻也是不可缺少的一件事。而這口氣，對于半導體行業(yè)來(lái)說(shuō)也同樣重要。
